啟力傳感公司壓力傳感器的制作方法

      壓力傳感器是怎么制作?就在壓力傳感器在加工細節(jié)上應該需要注意些什么?壓力傳感器的詳細介紹我們一起來了解一下。
      一種耐高溫智能壓阻式內燃機壓力檢測儀，他們的特征在于：由連接頭、散熱片、傳感器散熱片、耐高溫壓力傳感器、信號處理電路、外接導線與液晶顯示屏組成，從左到右依次為連接頭、散熱片、傳感器散熱片、耐高溫壓力傳感器、外接導線，各部分之間通過螺紋緊固連接，信號處理電路安裝在耐高溫壓力傳感器殼中，通過導線以及傳感器芯片相連，液晶顯示屏與外接導線相連。本實用新型創(chuàng)新之處在于取消了機械表式檢測裝置，采用了耐高溫壓阻式壓力傳感器，配置了信號處理電路與8字符液晶顯示屏，使得讀數直觀便于操作、測試精度高以及結果更加科學合理，同時具有了多種數據檢測記錄功能，從而研制了耐高溫智能壓阻式內燃機壓力檢測儀。
      在壓力傳感器的微細加工技術中要求在樣品背面的掩膜上光刻出壓力腔窗口的圖形而且和正面圖形嚴格對準。待別是在設計時必須將力敏電阻安排在膜內;有時離開膜邊的距離僅為30P”。正反圖形錯開時，力敏電阻條對壓力靈敏度響應便不對稱，而且有時有可能移到膜外，對于壓力便無響應。這種錯位既可以有平移錯動，也可以有角度錯開。一般要求對形誤差小于20。30”M.角度偏差約在30以內。